1、步進(jìn)掃描投影式光刻機(jī)是當(dāng)今世界 IC制造領(lǐng)域最重要最高端的設(shè)備之一,而硅片臺則是光刻機(jī)的核心單元之一。硅片臺系統(tǒng)的高速運(yùn)動、以及達(dá)到納米級的定位精度和同步運(yùn)動精度,對其系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性提出了非常嚴(yán)苛的要求,因此對硅片臺系統(tǒng)進(jìn)行動力學(xué)性能分析具有十分重要的意義。
　　首先,在分析介紹硅片臺的結(jié)構(gòu)和工作原理的基礎(chǔ)上,討論了硅片臺系統(tǒng)的各種運(yùn)動機(jī)構(gòu)及其連接關(guān)系的建模處理,在ADAMS軟件中建立了硅片臺系統(tǒng)的動力學(xué)模型;然后,根據(jù)硅片

2、臺系統(tǒng)步進(jìn)掃描曝光和調(diào)焦調(diào)平的功能需求,規(guī)劃了硅片臺的運(yùn)動軌跡。為實(shí)現(xiàn)硅片臺系統(tǒng)的快速、平穩(wěn)、精確的定位,確定了一種包含位置環(huán)和速度環(huán)的雙環(huán)PID控制系統(tǒng)。針對硅片臺系統(tǒng)運(yùn)動自由度與控制變量較多、運(yùn)動精度高、運(yùn)動軌跡比較復(fù)雜的特點(diǎn),選擇在 Matlab/Simulink中建立其運(yùn)動控制系統(tǒng);最后,通過 ADAMS和Matlab/Simulink的軟件接口結(jié)合硅片臺的動力學(xué)模型和控制系統(tǒng)模型,建立了硅片臺的聯(lián)合仿真模型。
　　聯(lián)合仿