1、真空玻璃以其保溫隔熱、隔音、防結霜結露、耐風壓強度等性能好的優(yōu)勢被用作節(jié)能型的建材，但至今仍未實現(xiàn)普及，這與玻璃表面的氣體吸附與放氣密不可分。傳統(tǒng)的加熱方法不能滿足對大面積玻璃除氣的要求，采用在真空環(huán)境中用等離子體對玻璃表面進行轟擊除氣的方法，可以得到干凈、含氣量少的玻璃表面，提高了真空玻璃的質量和壽命，因此該方法具有很好的研究和應用前景。
　　現(xiàn)階段關于等離子體除氣的研究局限于微電子、平板顯示器等行業(yè)，對大面積的建材玻璃除氣的研

2、究幾近空白。本文從玻璃除氣設備放電結構的設計出發(fā)，利用COMSOL Multiphysics軟件，建立數(shù)學模型和幾何模型，以相對簡單的放電除氣結構為基礎，針對放電電極的形狀、帶電的正負、排布形式等結構因素進行了模擬，分析了等離子體的特性對玻璃除氣的影響。發(fā)現(xiàn)放電電極帶負電、截面形狀為圓形、個數(shù)為偶數(shù)時，等離子體的分布均勻、電子能量高、垂直碰撞玻璃表面的離子流密度高且均勻，即除氣效果好。
　　本文中，選出了一組對除氣造成主要影響的參

3、數(shù)，包括電極與玻璃之間的距離H、電極與電極之間的距離L、電極工作電壓U和真空室壓力P。對除氣相關的結構及參數(shù)的優(yōu)化設計基于正交試驗，通過按照正交表進行的模擬得到一組最優(yōu)的參數(shù)組合，即:H=0.1m、L=0.15m、U=-1200V和P=2Pa，這組參數(shù)對玻璃除氣設備的設計與真空玻璃生產(chǎn)線的設計具有重要的指導的意義。
　　本文在優(yōu)化得到的結果的基礎上，進一步研究了其他參數(shù)和結構對除氣效果的影響。分析兩排放電電極時等離子體的分布及其對