厚膜微壓傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、針對目前我國工業(yè)過程自動控制、機電一體化及其他應用領域微壓測量用工業(yè)變送器、液位計技術的需要,采用較大半徑/厚度比(r/h)的新型超薄微壓陶瓷彈性體設計和高性能釕酸鹽厚膜應變電阻,并運用厚膜印刷、燒結工藝技術,研制出工作溫度高、耐腐蝕、性能價格比高的新型厚膜微壓力傳感器.本論文首先系統(tǒng)的介紹了厚膜技術基礎知識及厚膜微壓傳感器設計的原理和方法.根據(jù)厚膜壓力傳感器的基本原理,對厚膜微壓傳感器進行理論分析、方案設計和電路設計,并給出信號調理電

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