1、膜片式微振動(dòng)光纖傳感器的核心技術(shù)是高靈敏度傳感膜片的制作及傳感膜片與探測(cè)光的耦合方式。本文使用液相化學(xué)反應(yīng)生成了一種納米銀膜，使用納米銀膜設(shè)計(jì)出一種高靈敏度的微振動(dòng)傳感器;使用相位載波(PGC)零差解調(diào)方法，構(gòu)建了一種微振動(dòng)光纖傳感器系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果充分證明，此傳感器系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，對(duì)聲壓、光壓的具有理想的感應(yīng)靈敏度及檢測(cè)線性度;此傳感器可應(yīng)用于聲音傳感、微振動(dòng)傳感、光壓傳感、光功率測(cè)量等。銀膜的聲壓響應(yīng)靈敏度為160nm/Pa，其

2、底噪最小可檢測(cè)壓力靈敏度為14.5μPa/Hz1/2;其感應(yīng)光功率改變量的靈敏度為5.1nm/mW。
　　第一章:首先，介紹了光纖傳感器的研究狀況及膜片式光纖傳感器的發(fā)展歷程。其次，提出本論文研究的目的和意義。
　　第二章:分析干涉型光纖傳感器傳感原理，并詳細(xì)介紹了馬赫曾德干涉儀的傳感原理及光纖干涉儀的解調(diào)方法—相位載波(PGC)零差法的載波原理及解調(diào)原理。這是整個(gè)論文工作的理論準(zhǔn)備。
　　第三章:首先，介紹了金屬膜片

3、的制作工藝;其次，詳細(xì)介紹了納米銀膜傳感探頭的制作;最后介紹了傳感探頭的安裝。
　　第四章:對(duì)本論文提出并制造的基于納米銀膜的微振動(dòng)光纖傳感器系統(tǒng)，通過對(duì)聲壓及光壓信號(hào)的測(cè)試，進(jìn)行了對(duì)銀膜壓力感應(yīng)特性的研究。設(shè)計(jì)了傳感器銀膜振動(dòng)幅的標(biāo)定實(shí)驗(yàn);設(shè)計(jì)了銀膜探頭的聲壓響應(yīng)實(shí)驗(yàn)，確定了銀膜振動(dòng)幅與聲壓強(qiáng)度的關(guān)系，并得到了銀膜的聲壓響應(yīng)靈敏度為160nm/Pa，高于目前已報(bào)道的研究成果兩個(gè)數(shù)量級(jí);設(shè)計(jì)了微振動(dòng)光纖傳感器的光壓強(qiáng)度檢測(cè)實(shí)驗(yàn)，其