1、硅薄膜材料和電池研究已經成為熱點,開發(fā)低成本和高效率的太陽電池是光伏研究的目標。非晶硅薄膜太陽電池和微晶硅薄膜太陽電池都具有各自顯著的優(yōu)勢,在本論文中研究制備了一種適用于兩種太陽電池的窗口層材料,即P型微晶硅碳(p-μc-SiC:H)薄膜材料。p-μc-SiC:H薄膜材料具有高電導率、寬光學帶隙以及具備一定晶化率的優(yōu)點,用其作為窗口層的非晶硅太陽電池在保持了高吸收系數(shù)的同時,有具有良好的電學特性,提高了非晶硅太陽電池的短路電流密度；對于

2、微晶硅太陽電池,p-μc-SiC:H薄膜材料本身的晶化率使其與本征層更完美的匹配,改善了電池的性能。此外,柔性襯底太陽電池作為薄膜太陽電池的一個新品種,受到越來越多的關注。本文中采用了半透明和全透明的有機材料作為襯底材料,制備了柔性襯底的倒結構和正結構太陽電池。
　　 論文的核心內容包括以下兩部分:
　　 1.p-μc-SiC:H薄膜材料的制備和性能研究
　　 論文分別從CH4的摻雜量、硅烷濃度(氫稀釋率)、襯底

3、溫度、反應氣壓和輝光功率密度的角度分析了這些反應參數(shù)對材料暗態(tài)電導率、光學帶隙以及材料晶化率的影響,比較詳盡的分析了材料各個沉積參數(shù)的作用原理和相互作用,從而制備出了厚度在70nm左右,暗態(tài)電導率達到0.1S/cm,光學帶隙超過2.1eV的p-μc-SiC:H薄膜材料。
　　 2.柔性襯底太陽電池的制備和p-μc-SiC:H薄膜材料的應用
　　 論文中論述了p-μc-SiC:H窗口層的硅烷濃度對非晶硅太陽電池的影響。采用