1、隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）研究的深入，最近20年，MEMS在新產(chǎn)品、新制造工藝、新材料方面涌現(xiàn)了眾多研究成果。但是，隨著MEMS尺度的不斷變小，有些宏觀的特性和理論不再適合MEMS的研究，目前已有的材料的宏觀力學性能參數(shù)遠遠滿足不了MEMS的結(jié)構(gòu)設計要求。眾多研究表明，材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能能影響其宏觀力學性能。針對上述存在的問題，本文設計了一套能同時獲得材料的力學性能和對應的微觀形貌的微拉伸實驗裝置，并利用此微拉伸實驗裝置對單晶銅絲試樣

2、進行了拉伸實驗研究。具體研究內(nèi)容如下：
　　首先，本文綜合現(xiàn)有的微拉伸實驗裝置的研究現(xiàn)狀，根據(jù)裝置的具體性能指標要求，設計搭建了一套微拉伸實驗裝置，該裝置包括微位移機構(gòu)、試樣夾持機構(gòu)、成像系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)。
　　其次，對所設計的微拉伸實驗裝置進行有限元分析。利用有限元法對關鍵部件進行了優(yōu)化設計。對微拉伸實驗裝置進行模態(tài)分析，得到微拉伸實驗裝置的前5階自振頻率，有限元的仿真結(jié)果表明：此微拉伸實驗裝置具有很好的動態(tài)特性，可以實現(xiàn)高