微構(gòu)件拉伸測(cè)試技術(shù)及其力學(xué)性能研究.pdf_第1頁(yè)
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1、大連理工大學(xué)博士學(xué)位論文微構(gòu)件拉伸測(cè)試技術(shù)及其力學(xué)性能研究姓名：張段芹申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專(zhuān)業(yè)：微機(jī)電工程指導(dǎo)教師：褚金奎20091101微構(gòu)件拉伸測(cè)試技術(shù)及其力學(xué)性能研究另外，對(duì)電鑄鎳薄膜梁進(jìn)行了微拉伸測(cè)試。電鑄鎳?yán)煸嚇硬捎脺?zhǔn)LIGA技術(shù)制作，氨基磺酸鎳為電鑄液。測(cè)量結(jié)果表明：高電流密度下制備出的微結(jié)構(gòu)致密度較差，具有較高的氣孔率，并且楊氏模量與氣孔率的關(guān)系遵循指數(shù)經(jīng)驗(yàn)公式，其測(cè)量值與計(jì)算值比較吻合。在本文工藝條件下，當(dāng)電流密度為20

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