1、電容式微加速度計(jì)由于體積小、成本低、功耗低、具有直流響應(yīng)和漂移小等優(yōu)點(diǎn)廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)生活的各個(gè)領(lǐng)域。但是加速度計(jì)結(jié)構(gòu)在制作加工和實(shí)際工作中易受一些非理想因素的干擾，導(dǎo)致結(jié)構(gòu)偏差，嚴(yán)重影響其工作性能。
　　本文對(duì)加速度計(jì)的相關(guān)非理想因素，包括邊緣電容和寄生電容來(lái)源、溫度特性、加工誤差等進(jìn)行了理論分析。研究了加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的支撐梁、空氣阻尼等對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)性能的影響，并在此基礎(chǔ)上提出一種新型差分電容式復(fù)合支撐梁加速度計(jì)結(jié)構(gòu)。對(duì)該結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化

2、設(shè)計(jì)，使用有限元軟件ANSYS進(jìn)行靜態(tài)和模態(tài)仿真，得到加速度計(jì)的機(jī)械靈敏度為2.4×10-7m/g，敏感軸向的諧振頻率為1021Hz。對(duì)于邊緣電容的分析計(jì)算得到該結(jié)構(gòu)的邊緣電容為4.0051pF，對(duì)電容的影響為15.1％。分析了寄生電容的來(lái)源并計(jì)算了電容值的大小。分析了溫度變化對(duì)加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的影響，一方面是熱脹冷縮導(dǎo)致結(jié)構(gòu)尺寸變化；另一方面是通過(guò)影響硅材料的楊氏模量引起諧振頻率的漂移，頻率漂移率為-0.011～-0.041Hz/℃。另外