1、戰(zhàn)略慣導(dǎo)加速度計實用化的首要條件是大量程(70g以上)和高穩(wěn)定性,該文針對一種最基本、最為典型和工藝上較易實現(xiàn)的"三明治"結(jié)構(gòu),從靜態(tài)和動態(tài)兩方面對電容式微機械靜電伺服加速度計系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)分析.主要包括:敏感質(zhì)量偏心距、橫向加速度干擾和外加偏壓對傳感器穩(wěn)定性的影響,給出穩(wěn)定和參數(shù)受限條件下最大量程的求解以及提高量程的方法,研究如何補償伺服系統(tǒng)動態(tài)性能,以及不同輸入條件下系統(tǒng)響應(yīng)的分析.該文根據(jù)已有的加速度計模型,導(dǎo)出了慣性傳感器中敏感

2、質(zhì)量塊的各個運動方程,通過數(shù)學(xué)解析的方法,分析了各參數(shù)對量程和穩(wěn)定性的影響以及它們內(nèi)在的關(guān)系,指出關(guān)鍵參數(shù)是敏感質(zhì)量和臨界偏壓;根據(jù)二階系統(tǒng)分析方法研究加速度計閉環(huán)伺服系統(tǒng)的動態(tài)響應(yīng)和調(diào)整動態(tài)參數(shù)的手段,最后利用系統(tǒng)仿真工具M(jìn)ATLAB給出形象圖解和驗證. 閉環(huán)伺服原理保證了微慣性加速度計具有較大量程,以及閉環(huán)系統(tǒng)的一系列變換環(huán)節(jié)可近似為線性關(guān)系.由于采取中心懸臂梁式結(jié)構(gòu)設(shè)計,傳感器的穩(wěn)定性主要取決于臨界偏壓值,當(dāng)外加偏壓小于臨界偏壓或