1、偶次缺級(jí)編碼型二值相位光柵是一種偶次衍射級(jí)相互抵消的特殊的光學(xué)分束器件，所得光束陣列為偶數(shù)，具有衍射效率高、且陣列光強(qiáng)度均勻性不受入射光波分布影響等優(yōu)點(diǎn)，能夠滿足將單一輸入信息變換成多個(gè)輸出信息的要求，在光通信、光互連、光計(jì)算及存儲(chǔ)、多重成像等工業(yè)和軍事領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
　　 本文研究了偶次缺級(jí)編碼的實(shí)現(xiàn)方法，并利用基于模擬退火算法和下坡法的自編計(jì)算機(jī)輔助軟件包對(duì)光柵進(jìn)行設(shè)計(jì)和優(yōu)化。采用電子束直接曝光和反應(yīng)離子刻蝕在石英

2、基底上進(jìn)行光柵的制作，光柵分束數(shù)為16×16，周期為1.2mm，實(shí)際衍射效率為83.19％，光斑強(qiáng)度均勻性的最大相對(duì)偏差為8.64％，再現(xiàn)誤差為4％。應(yīng)用模擬退火法和下坡法進(jìn)行尋優(yōu)，應(yīng)該注意避免所得結(jié)果僅為局部最優(yōu)值而影響優(yōu)化質(zhì)量。在偶次缺級(jí)型光柵中，零級(jí)衍射被消除，并沒(méi)有輸出光束，因此相位誤差和其圖形形狀的制作誤差對(duì)再現(xiàn)誤差并沒(méi)有影響，但卻由于乘性系數(shù)sin2(σ/2)的存在降低了衍射效率。圖形準(zhǔn)確度誤差是造成光斑均勻性下降的主要原因