1、步進(jìn)掃描光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造的核心裝備，而工件臺(tái)系統(tǒng)是光刻機(jī)整機(jī)系統(tǒng)的核心系統(tǒng)。微動(dòng)臺(tái)是工件臺(tái)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，分析微動(dòng)臺(tái)及整個(gè)工件臺(tái)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性有助于光刻機(jī)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和控制策略的選擇。步進(jìn)掃描光刻機(jī)設(shè)計(jì)指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)需要設(shè)計(jì)的機(jī)械結(jié)構(gòu)系統(tǒng)具備良好的動(dòng)態(tài)特性。因此，在光刻機(jī)樣機(jī)研制階段對(duì)微動(dòng)臺(tái)及整個(gè)工件臺(tái)系統(tǒng)進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析就顯得非常有必要。
　　本文概述了國內(nèi)外光刻機(jī)工件臺(tái)的研究現(xiàn)狀，分析了有限元法在光刻機(jī)樣機(jī)研制過程中仿真分析的

2、應(yīng)用。通過對(duì)光刻機(jī)微動(dòng)臺(tái)及工件臺(tái)三維實(shí)體模型的合理簡化，建立了結(jié)構(gòu)的有限元模型，同時(shí)應(yīng)用彈簧-阻尼單元對(duì)氣浮導(dǎo)軌的氣浮特性進(jìn)行了模擬。在有限元模型建立的基礎(chǔ)之上，應(yīng)用有限元分析軟件ANSYS對(duì)光刻機(jī)微動(dòng)臺(tái)及工件臺(tái)進(jìn)行了動(dòng)態(tài)特性分析，主要是模態(tài)分析、瞬態(tài)分析及諧響應(yīng)分析。通過動(dòng)態(tài)特性分析，可以在設(shè)計(jì)階段找出結(jié)構(gòu)的薄弱環(huán)節(jié)，為結(jié)構(gòu)的改進(jìn)和控制策略的選擇提供合理化建議和依據(jù)。在動(dòng)態(tài)特性分析之前，也根據(jù)實(shí)際工況的不同，對(duì)微動(dòng)臺(tái)及工件臺(tái)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了

3、必要的靜力學(xué)分析。
　　針對(duì)超精密工件臺(tái)常用的工程陶瓷類材料及一些最新開發(fā)的超低膨脹材料，進(jìn)行了微動(dòng)臺(tái)基板材料的熱分析和振動(dòng)特性分析，為光刻機(jī)基板材料的選擇提供了直觀依據(jù)。熱分析主要是穩(wěn)態(tài)熱分析和熱-結(jié)構(gòu)耦合分析，振動(dòng)特性分析主要是模態(tài)分析。通過分析可知：微晶玻璃（Zerodur）是微動(dòng)臺(tái)基板的最佳材料，石英陶瓷和ULE效果也不錯(cuò)。
　　針對(duì)光刻機(jī)微動(dòng)臺(tái)基板部分，進(jìn)行了基于正交試驗(yàn)和ANSYS拓?fù)浞治龅慕Y(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)。通過分析