1、邊緣電場(chǎng)(Fringing Electric Field，簡(jiǎn)稱FEF)傳感器是基于電容邊緣效應(yīng)的傳感器，由于具有單邊穿透、信號(hào)強(qiáng)度可調(diào)以及層析成像等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)過程控制中產(chǎn)品性能，如厚度、損傷、含水量、多孔性、粘度、密度等非接觸測(cè)量。
　　本文介紹了邊緣電場(chǎng)傳感器有限元模型，并分析了傳感器性能指標(biāo)和結(jié)構(gòu)參數(shù)。在此基礎(chǔ)上，將傳感器二維、三維模型相結(jié)合，基于正交優(yōu)化設(shè)計(jì)和回歸分析選擇傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)，仿真結(jié)果表明，該方法確定的

2、結(jié)構(gòu)參數(shù)可以獲得較好的性能指標(biāo)。
　　根據(jù)優(yōu)化設(shè)計(jì)得到的結(jié)構(gòu)參數(shù)研制了PCB型單波長(zhǎng)和三波長(zhǎng)FEF傳感器，并在基于LabView的測(cè)量系統(tǒng)上標(biāo)定。為了提高測(cè)量系統(tǒng)的精度，采用標(biāo)準(zhǔn)電容法對(duì)測(cè)量電路的反饋電容進(jìn)行校正。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，研制的傳感器測(cè)量重復(fù)性效果較好，三波長(zhǎng)傳感器的通道之間無(wú)串?dāng)_。
　　研究了邊緣電場(chǎng)傳感器參數(shù)估計(jì)算法，分別針對(duì)單波長(zhǎng)和三波長(zhǎng)傳感器提出線性回歸和多元非線性回歸算法，建立了傳感器互導(dǎo)電容值與被測(cè)樣本介電