1、單晶硅太陽能電池制造行業(yè)的發(fā)展方向便是降低生產成本和增加轉換效率。將太陽能電池的兩個制備步驟合并為一個且不降低晶體硅電池性能便是降低生產成本的方法。而納米金屬的等離子激元共振對光的吸收和散射特性可以用來提高太陽能電池的轉換效率。本文使用旋涂的方法來完成磷摻雜制備n+發(fā)射極和減反射層這兩個步驟。同時利用磁控濺射來制備納米銀薄膜，并對納米銀薄膜的微觀結構和光學性能進行了研究。主要內容包括：
　　 1.不同于商用的磷源，我們將使用正硅

2、酸乙酯(TEOS)來制備不同磷源濃度的摻雜磷源。我們測試了SOD磷源中不同磷酸濃度對n+發(fā)射極方塊電阻的影響，同時也研究了加熱時間和溫度對方塊電阻的影響。發(fā)現使用旋涂摻雜的方法來制備n+發(fā)射極，其方塊電阻都受到這三個條件的影響。且SOD薄膜在加熱后形成了SiO2薄膜。并且研究了SOD薄膜的減反射特性，發(fā)現其具有一定的減反射效果。
　　 2.納米銀薄膜是通過磁控濺射和低溫退火的方法制備。通過制備不同厚度的銀薄膜，研究不同尺寸大小納