1、微波燒結具有節(jié)能、縮短燒結周期等一系列優(yōu)點,獲得的材料表現(xiàn)出高致密度、組織均勻等特征,在近20年來備受關注。隨著現(xiàn)代工業(yè)向高效節(jié)能方向的發(fā)展,微波燒結將會有更為廣闊的應用前景。ITO靶材作為制備透明導電氧化物薄膜的材料,在軍用和民用領域有著廣泛應用。鑒于微波燒結的特殊優(yōu)勢和ITO靶材的重要價值,論文首次應用微波燒結技術制備ITO靶材,并研究了微波燒結制備ITO靶材的工藝、致密化行為、以及靶材顯微組織,得到以下結論:
　　 (1)

2、微波燒結能快速制備高致密度、顯微組織均勻的的ITO靶材。研究發(fā)現(xiàn),靶材的相對密度隨著燒結溫度升高而增大;在1580℃進行微波燒結時,靶材的相對密度隨著保溫時間的延長先增大后減小,在保溫1.5h時相對密度達到最大值(99.58％),高溫更長時間燒結對ITO靶材的致密化不利。另外,微波燒結促進了ITO靶材的致密化,即以更低的燒結溫度或更短的保溫時間均能獲得綜合性能較好的材料,是一種活化燒結模式。升溫速度是微波燒結的一個重要參數(shù),ITO靶材可

3、以在10-65℃/min升溫速度范圍內燒結出相對密度和收縮率均較高的ITO靶材,而最佳升溫速度約為45℃/min;
　　 (2)在微波燒結制備ITO靶材的過程中,壓制壓力也有著重要的影響。壓坯和ITO靶材的密度均隨著壓制壓力的升高而增加,在壓制壓力為500MPa時達到最高。提高壓制壓力有利于靶材的致密化;在最佳的微波燒結工藝參數(shù)(1580℃×1.5h×500MPa)條件下,ITO靶材密度達到7.12g/cm3,與常規(guī)燒結(7.1