1、集成電路的成品率優(yōu)化一直是半導(dǎo)體業(yè)界關(guān)心的問題,尤其是目前硅集成電路進(jìn)入特征尺寸為納米的工藝階段,以成品率為核心的可制造性設(shè)計(jì)成為其中的研究熱點(diǎn),而版圖設(shè)計(jì)階段的成品率性能更是優(yōu)化電路設(shè)計(jì)和制造工藝研究的重要課題。
　　版圖的圖像格式不僅是隨機(jī)缺陷熱點(diǎn)檢測的基礎(chǔ),而且也更有利于精確計(jì)算版圖的關(guān)鍵面積和后續(xù)版圖的優(yōu)化,更重要的是為集成電路成品率的提高奠定了基礎(chǔ)。
　　本文以提高集成電路成品率和版圖優(yōu)化效率為目標(biāo),結(jié)合圖像處理技

2、術(shù)提出一種將版圖格式的文件轉(zhuǎn)換為圖像格式文件的算法。該算法以CIF命令和BMP命令為基礎(chǔ),不僅能實(shí)現(xiàn) CIF文件的圖元轉(zhuǎn)換為 BMP圖像,而且能完成整個(gè) CIF版圖的轉(zhuǎn)換。
　　此外,考慮到隨機(jī)缺陷分布的版圖設(shè)計(jì)是減少成品率損失的有效途徑,文中進(jìn)一步研究了版圖的布線優(yōu)化問題。為了減少由冗余物和丟失物缺陷所引起的成品率損失,需要提取版圖優(yōu)化線網(wǎng)的位置信息。本文提出了一種新的短路開路靈敏度(NSOS)模型,并基于隨機(jī)形狀缺陷和隨機(jī)形狀