1、近年來隨著微光學(xué)的發(fā)展，微光學(xué)器件在許多的領(lǐng)域和應(yīng)用中扮演著越來越重要的角色，微透鏡陣列作為重要的微光學(xué)元件其中功不可沒。其所應(yīng)用的領(lǐng)域包括光學(xué)傳感，光通信，光互連，光纖耦合等方面。目前制作微透鏡陣列的方法有很多，其中熱壓印成型技術(shù)因其工藝參數(shù)易控制，且可大批量重復(fù)生產(chǎn)，成為各國學(xué)者競相研究的課題，但其對模板精度要求極高，脫模困難，模具不易清洗，模板制作工藝復(fù)雜，成本高。為了降低熱壓印成型技術(shù)對模具的要求，本文提出了非接觸式熱壓印工藝制

2、作微透鏡陣列，采用了自主研制的熱壓印樣機與光刻工藝制作的通孔式不銹鋼模具在PMMA表面壓印出微透鏡陣列。并采用了通孔式模具使制作工藝不需要真空環(huán)境。
　　 本研究利用通孔式模具，以熱壓成型方式，制作具有球面的微結(jié)構(gòu)。建立了平凸式微透鏡結(jié)構(gòu)的數(shù)學(xué)模型，分析了非接觸式熱壓印微透鏡結(jié)構(gòu)的原理，并建立了微透鏡的高度、曲率半徑、接觸角與壓印壓力等參數(shù)的關(guān)系，運用Ansys 對熱壓印過程中聚合物材料的變形進行了有限元分析。實驗設(shè)備采用自制的

3、壓印樣機，設(shè)計了一種新型楔形補償模塊來保證模具與樣品的平行度。模具采用光刻工藝制作的不銹鋼通孔式模板。熱壓材料采用PMMA，因為其透光率好、價格便宜、材質(zhì)使用于熱壓方式制作微透鏡陣列。
　　 以不同的熱壓溫度、熱壓壓力及熱壓時間制作微透鏡，探討這些參數(shù)對微透鏡成型的影響。采用光學(xué)顯微鏡測量微透鏡結(jié)構(gòu)的高度，觀測微透鏡的焦距，計算出透鏡的曲率半徑和光圈數(shù)。本文以通孔式模具制作的微透鏡的光圈數(shù)（f/＃）為1.31，制程簡易。