1、隨著人們生活水平的提高，汽車行業(yè)也得到了快速的發(fā)展，但隨之也帶來了一定的危害，比如交通事故發(fā)生的概率越來越大，根據世界衛(wèi)生組織調查顯示，50％到60%的交通事故是由于酒駕而造成的，嚴重威脅我們的人身安全，因此酒精檢測引起了廣泛的關注。
　　基于納米結構的氣敏傳感器具有比表面積大、表面活性高、表面氣體通道多、易于集成等諸多優(yōu)勢，因此備受研究人員青睞。其中，二氧化鈦納米薄膜不僅繼承了這些優(yōu)點，還具有靈敏度高、工作溫度低、響應迅速、易于

2、制備等獨特的優(yōu)點，因此本文選擇二氧化鈦納米薄膜作為酒精氣敏傳感器的敏感材料。為了進一步改進器件的傳感特性，本文設計了疊層復合結構，制備了二氧化錫和二氧化鈦的疊層納米薄膜，提高了器件的靈敏度；另外，對襯底進行處理，利用雙槽電化學腐蝕的方法，制備出了多孔硅襯底，提高了氣敏元件的比表面積，改善了傳感特性。
　　具體的研究內容如下：
　?。?）利用電子束蒸發(fā)的方法在襯底上生長Ti叉指電極，然后利用多功能磁控濺射設備沉積TiO2納米薄

3、膜。并研究了生長過程中各個工藝條件對薄膜特性和器件傳感性能的影響，得到最佳的沉積工藝條件為：氧氬比2.5:57.5，功率120W，壓強0.8Pa，靶基距7cm，襯底溫度450℃。
　　（2）利用磁控濺射方法制備了TiO2和SnO2納米薄膜的疊層結構，由于兩者具有相似的晶格結構，在高溫條件下，可以取代彼此顆粒內部的離子，因此使氣敏元件表面活性增強，電荷轉移增大，從而顯著提高了器件的靈敏度。
　　（3）將清洗干凈的P型硅片進行雙