1、針對脆性材料精密研磨拋光加工過程中主要依賴工人加工經(jīng)驗的情況，為了滿足新型超精密單平面研磨機(jī)在加工過程中減少對工人加工經(jīng)驗的要求，本文以Al2O3陶瓷閥片和BK7光學(xué)玻璃為研究對象，研究了加工工藝參數(shù)對這兩種材料加工質(zhì)量的影響；建立了相應(yīng)的加工工藝數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)；設(shè)計了超精密單平面研磨機(jī)控制系統(tǒng)。從而使得本課題組研發(fā)的超精密單平面研磨機(jī)在加工過程中能從數(shù)據(jù)庫中讀取相關(guān)加工參數(shù)信息，實現(xiàn)工藝優(yōu)化組合與加工效果預(yù)報功能。 本文主要的研究

2、結(jié)論如下： 研磨時間、壓力、研磨液流量、研磨液濃度、磨料粒度、研磨盤轉(zhuǎn)速等加工參數(shù)對工件表面粗糙度和材料去除量有不同程度的影響。 對于Al2O3陶瓷閥片，隨著研磨時間延長、研磨液流量增大、磨料粒度和研磨液濃度減小，表面粗糙度降低；隨著研磨時間延長、研磨壓力、磨料粒度、研磨液流量的增大和研磨盤轉(zhuǎn)速增加，材料去除量增大；隨著研磨壓力增大，表面粗糙度先減小后增加；隨著研磨盤轉(zhuǎn)速增加，表面粗糙度先增大后減??；隨著研磨液流量增加，

3、材料去除量先增大后減少。 對于BK7光學(xué)玻璃，隨著研磨時間延長和磨料粒度減小，表面粗糙度減?。浑S著研磨壓力增加、研磨液濃度減小和研磨液流量增大．表面粗糙度先減小后增大；研磨盤轉(zhuǎn)速增加，表面粗糙度先增大后減??；隨著研磨時間延長、研磨壓力增大、磨料粒度增大、研磨液濃度增大，材料去除量增大；研磨盤轉(zhuǎn)速和研磨液流量增大，材料去除量先增大后減少。 通過正交試驗以符合加工表面粗糙度要求所用的加工時間最少為目標(biāo)，對兩種材料研磨拋光加工