太陽(yáng)能級(jí)多晶硅定向凝固過(guò)程的數(shù)值模擬.pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩55頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、多晶硅被譽(yù)為“微電子大廈的基石”,是跨化工、冶金、機(jī)械、電子等多學(xué)科、多領(lǐng)域的高新技術(shù)產(chǎn)品,是半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路和太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)原材料,具有投資規(guī)模大、科技含量高、產(chǎn)業(yè)鏈長(zhǎng)等特點(diǎn),經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益都十分顯著。
   制備多晶硅主要采用西門(mén)子法,經(jīng)過(guò)三代發(fā)展,技術(shù)較成熟,但它生產(chǎn)流程長(zhǎng)、能耗高、污染大。冶金法是近十幾年發(fā)展起來(lái)的制備多晶硅的方法,它具有投資小、生產(chǎn)流程簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),被業(yè)界認(rèn)為是最有可能替代西門(mén)子法的一種方

2、法,但這種技術(shù)不成熟。
   本研究的目的是發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的能耗污染相對(duì)小的冶金法制備太陽(yáng)能級(jí)多晶硅新技術(shù)。由于多品硅制備工藝試驗(yàn)難度大、周期長(zhǎng)、費(fèi)用高,有風(fēng)險(xiǎn),數(shù)值模擬是一種廉價(jià)有效的方法,它對(duì)多品硅生產(chǎn)技術(shù)起到了越來(lái)越重要的指導(dǎo)作用。
   本文綜合評(píng)述近年來(lái)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅定向凝固技術(shù)的研究進(jìn)展,根據(jù)定向凝固的理論,對(duì)目前的主要幾種定向凝固的方法進(jìn)行了比較,指出了它們的優(yōu)缺點(diǎn);計(jì)算了相變過(guò)程的焓;在參閱目前定向

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論