1、中頻磁控濺射電源是目前大面積磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的首選配套電源。介紹了中頻磁控濺射電源的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及不同工作模式對工藝的影響。分析了不同輸出波形對鍍膜工藝的優(yōu)劣，確定采用雙極性矩形波的輸出方式。數(shù)字化控制電源相比傳統(tǒng)的模擬控制電源具有多種優(yōu)勢，是開關(guān)電源的發(fā)展趨勢。采用FPGA構(gòu)建全數(shù)字化控制系統(tǒng)，設(shè)計了人機交互電路、保護(hù)電路等電路并進(jìn)行了軟件編程。
　　方案確定采用AC-DC-AC兩級變換的主電路結(jié)構(gòu)，借助仿真軟件SABER研究

2、了中頻磁控濺射鍍膜電源硬件電路的理論設(shè)計及參數(shù)的計算與擇取。由FPGA通過分頻計數(shù)的方式合成數(shù)字 PWM信號，經(jīng)過 IGBT集成驅(qū)動模塊 M57962L的驅(qū)動控制開關(guān)管的通斷，調(diào)節(jié)能量的傳遞。利用電流傳感器實時采樣電源輸出電流，經(jīng)信號調(diào)理濾波電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路和 PID閉環(huán)控制算法運算后，輸出相應(yīng)的DPWM脈沖信號調(diào)整前級 Buck斬波電路的驅(qū)動占空比，使輸入后級逆變電路的母線電壓相應(yīng)改變，進(jìn)而調(diào)節(jié)了負(fù)載電流，獲得恒流特性的中頻電源。利

3、用軟件控制的方法進(jìn)行打弧的檢測與滅弧保護(hù)。設(shè)計了電源過電流、過熱等保護(hù)措施。通過按鍵設(shè)定全橋逆變電路驅(qū)動信號的頻率及占空比來調(diào)整電源的輸出波形參數(shù)，滿足鍍膜的工藝要求。設(shè)計的中頻電源輸出頻率20kHz至40kHz可調(diào)，輸出脈寬占空比10％至80%可調(diào)，最大輸出電壓幅值600V，最大輸出電流10A。
　　對數(shù)字控制中的時間延遲、A/D轉(zhuǎn)換分辨率、DPWM分辨率和采樣保持等因素對數(shù)字控制器性能的影響進(jìn)行了分析。利用VHDL語言編寫了系