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![基于電場誘導聚合物流變成形微透鏡陣列制造技術研究.pdf_第1頁](https://static.zsdocx.com/FlexPaper/FileRoot/2019-3/14/17/4e8a9e9d-28c0-4df8-b8c6-e23467193f49/4e8a9e9d-28c0-4df8-b8c6-e23467193f491.gif)
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文檔簡介
1、隨著微光電機械系統(tǒng)的快速發(fā)展,對光學元件小型化的發(fā)展提出了新的要求。傳統(tǒng)的光學系統(tǒng)已經(jīng)不能滿足日趨微型化系統(tǒng)發(fā)展的要求。小尺寸、高密度的微透鏡陣列元部件的發(fā)展為體積小、重量輕、集成化程度高的微機電系統(tǒng)中的信號傳輸、檢測提供了技術支持與保障。陣列化的微透鏡陣列可以在很小的尺寸范圍內(nèi),將同一個信號陣列化分成許多份,使得信號在微尺度范圍內(nèi)放大和采集成為可能。透鏡作為微光學系統(tǒng)中最重要的元部件之一,它的小型化、陣列化則成為微光學電機械系統(tǒng)發(fā)展過
2、程中的重要研究方向。
本論文依托國家“973”項目“納米結構的外電場誘導流變成形規(guī)律與控制”,提出了一種具有高精度的新型的微透鏡陣列制作方法,電場誘導法聚合物流變成形法微透鏡陣列技術,并對其成形理論機理和工藝方法進行了深入研究。主要工作如下:
(1)對聚合物薄膜在電場圖形化調制作用下的流變成形基本理論進行了簡要分析;通過對聚合物流變過程中的動力學機理進行理論推導,建立了電場誘導聚合物薄膜流變模型,為實驗中應用電場誘導
3、法制作微透鏡陣列提供理論基礎。
(2)應用多物理場有限元分析軟件—COMSOLMultiphysics,建立了電場誘導法制作微透鏡陣列的仿真分析模型,并對影響其成形的參數(shù)進行了分析。文中主要從模具結構參數(shù)和實驗參數(shù)(如空氣間隙、電壓、聚合物薄膜厚度、聚合物介電常數(shù)及粘度等)兩方面對微透鏡陣列成形工藝進行了模擬分析。根據(jù)仿真結果,對參數(shù)進行優(yōu)化分析,為電場誘導微透鏡陣列的實驗研究提供了重要參考。
(3)設計制作了直徑為
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