1、振鏡以其高掃描效率，常作為關(guān)鍵部件被廣泛應(yīng)用到掃描成像系統(tǒng)當(dāng)中，振鏡性能的好壞直接影響了成像質(zhì)量，對(duì)其性能參數(shù)的測(cè)試顯得尤為重要。本文以振鏡的各項(xiàng)性能指標(biāo)測(cè)試為著手點(diǎn)，設(shè)計(jì)了一個(gè)以光電位置敏感探測(cè)器（PSD）為位置敏感接收元器件的集光機(jī)電一體化的非接觸式測(cè)量裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)振鏡各項(xiàng)性能參數(shù)的同步測(cè)量。
　　本文首先從PSD的物理結(jié)構(gòu)和等效電路兩個(gè)方面出發(fā)，研究了PSD的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工作原理并對(duì)所選用的PSD進(jìn)行非線性的分析。
　

2、　其次，利用Lucovusky方程推導(dǎo)出PSD的位置與輸出信號(hào)的關(guān)系公式，根據(jù)公式設(shè)計(jì)了PSD的調(diào)理電路。利用所設(shè)計(jì)的二維數(shù)控光學(xué)位移臺(tái)分析不同調(diào)理電路下的PSD的性能，并根據(jù)分析結(jié)果選擇了合適的調(diào)理電路的器件和參數(shù)。
　　再次，根據(jù)不同的測(cè)試參數(shù)需求設(shè)計(jì)了相應(yīng)的測(cè)試光路，利用一維PSD所構(gòu)成的光路完成最大/有效正負(fù)擺角、掃描頻率、時(shí)間利用率等參數(shù)的測(cè)量；利用二維枕型PSD所構(gòu)成的短光程光路完成靜止/運(yùn)動(dòng)零位重復(fù)性的測(cè)量；利用二維