1、微電子機械系統(tǒng)(MEMS)成為近幾十年內(nèi)廣泛研究和發(fā)展的主題。好的微機械陀螺接口電路能夠使陀螺正常工作，精確的反應(yīng)輸入信號，最大限度的消除噪聲，修正陀螺結(jié)構(gòu)設(shè)計中的不足。如果接口電路設(shè)計不當(dāng)，陀螺就無法正常工作，即使是好的結(jié)構(gòu)設(shè)計也不能夠?qū)崿F(xiàn)信號檢測。
　　目前，在微機械陀螺接口電路中存電學(xué)耦合，它導(dǎo)致陀螺的輸出結(jié)果與輸入信號的非線性度已接近30％，嚴重影響微陀螺的性能。在傳統(tǒng)的接口電路中，由于驅(qū)動信號與檢測信號頻率相同，因而這種

2、電學(xué)耦合很難消除，必須研究新的驅(qū)動原理。通過對陀螺結(jié)構(gòu)的頻譜分析得知，陀螺的頻率特性是窄帶帶通。本文基于此，設(shè)計了新的驅(qū)動方法，即將驅(qū)動信號進行頻率調(diào)制，使驅(qū)動信號與檢測信號的頻率相分離，通過濾波器將耦合信號消除。
　　本文首先搭建了系統(tǒng)模型，對系統(tǒng)進行仿真，根據(jù)仿真結(jié)果進行優(yōu)化。再對優(yōu)化后的系統(tǒng)進行晶體管級設(shè)計，設(shè)計出驅(qū)動電路的電荷放大器、90°移相器、乘法器、二階濾波器、直流比較器和加法器。Hspice仿真結(jié)果表明，實現(xiàn)了自激