1、隨著高功率脈沖飛秒激光技術的迅猛發(fā)展,脈沖飛秒激光加工技術得到了廣泛的應用,而且已經(jīng)走向了產(chǎn)業(yè)化。飛秒激光與物質(zhì)相互作用具有明顯的優(yōu)勢,如:加工過程非熱熔性、亞微米加工、三維加工、加工材料廣泛等。實現(xiàn)加工材料表面多種超強特性,如超強的光學吸收效率,超親水性,超疏水性,超強的電磁輻射,超強的黏附脫附力等,在超高速光通信、新能源、納米科學、生物醫(yī)學等領域得到廣泛應用。
　　本文首先綜述了飛秒激光技術以及激光與物質(zhì)相互作用理論研究的發(fā)展

2、歷程,激光微納加工技術、研究現(xiàn)狀及潛在應用,此外也概述了靜態(tài)飛秒脈沖激光在正入射和斜入射情況下誘導金屬材料表面類光柵結(jié)構(gòu)的實驗研究。
　　其次本文運用動態(tài)激光掃描的方式進行金屬靶材表面微納光柵的誘導燒蝕實驗,深入研究了在入射飛秒激光不同能量密度、不同掃描速度條件下,金屬表面類光柵結(jié)構(gòu)形貌變化特征,并且提出獲得金屬靶材表面均勻大面積微納光柵結(jié)構(gòu)激光參數(shù)的最優(yōu)化方案。研究結(jié)果表明:在近燒蝕閾值能量條件下,掃描速度過快會造成激光能量不均

3、勻,燒蝕形貌不規(guī)整;掃描速度過慢則會使得掃描區(qū)沉積的能量密度過高,造成過度燒蝕。此實驗結(jié)果與靜態(tài)多脈沖燒蝕相比擬。此外本文也對多束飛秒激光同時掃描制備的大面積規(guī)整類光柵結(jié)構(gòu)的實驗方案進行了初步探討。
　　最后本文通過動態(tài)掃描激光束刻寫的方式,在入射激光能量高于材料燒蝕閾值條件下刻寫金屬及半導體材料表面形成微米光柵結(jié)構(gòu),針對不同實驗條件下,對刻寫光柵周期及深度與材料表面可見及紫外波段反射率之間的關系進行了分析,發(fā)現(xiàn)在一定范圍內(nèi)刻寫微