1、飛秒激光加工技術以其極窄的脈寬與極高的功率密度，可以實現對任何材料的非熱熔性加工，具有加工區(qū)域小和精度高等優(yōu)點，在各種材料微細加工中應用日益廣泛。采用飛秒激光改性玻璃并結合化學腐蝕的方法可制作光子晶體或微流體芯片，但目前飛秒改性腐蝕機理尚不清楚，如何選擇合適的玻璃材料進行改性腐蝕研究也不明確，論文針對這些問題開展深入研究和分析討論。
　　 首先，采用Ti：Sapphire 激光器發(fā)出的800nm，50fs，1KHz脈寬激光，對三

2、種典型玻璃（石英玻璃，Pb硅酸鹽玻璃，碲酸鹽玻璃）在開放環(huán)境中分別進行燒蝕的實驗研究。確定了每種玻璃的閾值，燒蝕面積和脈沖能量成線性關系，三種玻璃燒蝕面積都是隨脈沖能量和脈沖數量增多而增大；利用CCD成像技術、掃描電鏡技術（SEM）對燒蝕孔表面形貌觀察，比較不同單脈沖能量、不同脈沖數量及不同玻璃材料的燒蝕形貌，并分析原因。
　　 在上述研究基礎上，利用HF酸腐蝕飛秒激光改性后的三種玻璃，研究了玻璃的化學腐蝕特性，對腐蝕前后材料微

3、觀結構進行觀測，分析了不同材料的腐蝕速率與脈沖能量、腐蝕時間的關系，從材料組成、顯微結構、化學鍵特征討論了玻璃改性-腐蝕機理。結果表明：飛秒激光改性后的碲酸鹽和Pb硅酸鹽玻璃不具有選擇性腐蝕特性，而石英玻璃的選擇性腐蝕比高于50，選擇性腐蝕比足夠高，就有可能制作出高深寬比，亞微米孔間距的周期微孔結構；在飛秒激光800nm/50fs條件下，存在最佳脈沖能量范圍，使得熔石英玻璃選擇性腐蝕比達最高；飛秒激光改性玻璃的選擇性腐蝕特性與材料結構有