1、簡要回顧了現(xiàn)代超精密加工技術的最新發(fā)展和缺陷、研究熱點以及超聲電機界面磨損研究方面的進展。通過分析超精密加工技術的不足，提出一種無運動副的固定磨粒表面加工方式，該方式利用壓電陶瓷陣列激勵磨削工具表面產生可控性振動作用于被加工面，實現(xiàn)對磨削參數(shù)的控制。
　　以無補償型磨削樣機為研究對象，利用ANSYS對兩相模態(tài)頻率分布規(guī)律進行探索，確定樣機的初始尺寸，進行相關的分析及試驗，研究表明該加工方法可以在較低的壓力下進行有效的磨削加工。由于

2、該樣機兩相模態(tài)頻率的一致性依賴于磨具的精度，對該磨具進行靈敏度分析并提出了兩相模態(tài)一致性的調節(jié)方法。為了尋找尺寸的最優(yōu)解，利用APDL語言編制程序對結構尺寸進行了優(yōu)化設計，計算結果表明總目標函數(shù)最終收斂到一個較小的極值，所有子目標函數(shù)得到了不同程度的優(yōu)化。
　　由于磨削工具表面很難具有理想的精度，提出了多點式和矩陣式補償型磨削樣機。介紹了兩種樣機的工作機理、結構以及設計情況。利用ANSYS軟件進行了分析，優(yōu)選了樣機的結構尺寸。樣機