激光外差多普勒二次諧波測厚方法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、玻璃質(zhì)量的一個重要指標就是玻璃厚度。目前應用較廣泛的玻璃厚度測量方法,可以滿足一般玻璃厚度測量的要求,但是在精度要求比較高的玻璃厚度測量方面,以及玻璃制品生產(chǎn)的在線監(jiān)測等方面,應用這些方法基本不能實現(xiàn)測量。目前可以實現(xiàn)這類特殊測量的方法成本比較高,不適合推廣。
   應用激光外差技術和激光多普勒技術相結合的激光外差多普勒測量方法可以實現(xiàn)玻璃厚度的高精度檢測和在線監(jiān)測,但是在測量較薄玻璃的厚度時,由于玻璃厚度較小,導致一次頻差太小

2、而不易被檢測,所以本文提出應用二次諧波測量方法,檢測二次差頻,以實現(xiàn)薄玻璃厚度測量。
   二次諧波測量方法應用激光多普勒效應,使得經(jīng)多普勒振鏡反射后的激光的頻率隨時間的變化而變化,頻率變化后的激光照射到玻璃,由于玻璃厚度存在,使得激光在玻璃前表面的反射光與其之前時刻經(jīng)后表面反射一次或多次并到達前表面的激光光程不等,所以各束激光是由振鏡在不同時刻反射的,其頻率不同。各束激光于玻璃前表面混合產(chǎn)生混頻信號。光電探測電路將接收到的混合

3、光信號轉化為電信號,濾波放大后,得到二次諧波差頻電信號,由信號處理電路對此電信號進行快速傅里葉變換,抓取主頻獲得二次諧波頻差,從而計算得到玻璃厚度。
   本文根據(jù)方法的理論計算,對測量系統(tǒng)進行MATLAB仿真,仿真結果分析表明方法對玻璃厚度小于1mm的測量誤差范圍為±0.006mm,相對誤差最大值為6%。結合前期的實驗研究,對激光外差多普勒一次差頻測厚方法測量系統(tǒng)的設計以及實驗結果進行分析。
   得出結論:測量系統(tǒng)中

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