微光機(jī)電器件及其關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、最近幾年來，微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)逐漸向光學(xué)方面滲透，在二十世紀(jì)九十年代中后期形成了全新的技術(shù)領(lǐng)域—微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)。微光機(jī)電器件是MOEMS的基本組成單元，微制作技術(shù)是MOEMS的技術(shù)基礎(chǔ)。本論文在國家自然科學(xué)基金、國家863計(jì)劃、國家973計(jì)劃、吉林省科技發(fā)展計(jì)劃等資助下對(duì)MOEMS器件及其關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究探討。用于X射線波段的微小光學(xué)器件是MOEMS典型器件之一。在第二章X射線聚焦組合透鏡的研究中，針對(duì)X射線波段的

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