1、傳感器技術是現(xiàn)代科學技術發(fā)展水平的重要標志，它與通信技術、計算機技術構成現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱。在各種傳感器中，壓力傳感器是應用最為廣泛的一種?？紤]到目前使用的硅壓力傳感器主要是擴散硅壓力傳感器，雖然其在目前技術已經(jīng)比較成熟，但在強電磁干擾、易燃易爆等場所并不能使用。我們設計制造的光纖MEMS壓力傳感器集光纖傳感器傳輸頻帶寬、動態(tài)測量范圍大、易于組成分布式測量網(wǎng)的優(yōu)點及MEMS傳感器體積小、功能強、靈敏度高和易于批量生產(chǎn)的優(yōu)點于一身，有

2、望填補傳統(tǒng)傳感器在強電磁干擾、易燃易爆場合不能使用的空缺，在石油化工和航天航空等領域有著廣泛的應用前景。 研究了光纖MEMS壓力傳感器基于法布里—珀羅腔干涉的基本傳感機理，建立了光纖MEMS壓力傳感器的基本光學及力學模型，著重考慮并分析了光纖MEMS壓力傳感器的溫度效應，提出了低溫度系數(shù)光纖MEMS壓力傳感器的設計并成功制造出傳感器若干。實驗證明，新的結構使得光纖MEMS壓力傳感器受溫度的影響大幅減小，具有了更好的重復性，同時還

3、繼承了原有傳感器的高精度和高靈敏度。 研究了傳感器的制作過程中所涉及的MEMS加工工藝的基本原理，包括光刻、反應離子刻蝕(RIE)和陽極鍵合技術等關鍵技術，研究了傳感器加工工藝，確定了工藝流程，詳細介紹了傳感器加工步驟。研究MEMS壓力傳感器的封裝結構及其封裝方法，采用標準化的結構來封裝研制的傳感器元件，最后加工出傳感器樣品。 建立了傳感器解調(diào)實驗系統(tǒng)。對傳感器的基本性能進行了理論分析，重點測試了樣品的重復性、遲滯、線性