1、光纖MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器既具備MEMS傳感器體積小、功能強、靈敏度高和易于批量生產(chǎn)的優(yōu)點，又具備光纖傳感器傳輸頻帶寬、動態(tài)測量范圍大、易于組成分布式測量網(wǎng)的特點。本文重點介紹了光纖法布里-珀羅干涉型MEMS壓力傳感器的設(shè)計、制作以及測試方法，并提出了一種新型的光纖MEMS溫度傳感器。
　　設(shè)計了一種光纖MEMS微壓傳感器。討論了敏感膜厚度對壓力敏感膜撓度的影響，在此基礎(chǔ)上設(shè)計了臺面膜結(jié)構(gòu)的光纖壓力傳感器，建立了臺面膜的力學(xué)

2、模型，分析了敏感膜厚度以及臺面高度對傳感器性能的影響，并用有限元分析軟件ANSYS仿真模擬了臺面膜的力學(xué)性能。討論了法-珀腔腔長對傳感器性能的影響。
　　考慮傳感器實際結(jié)構(gòu)，建立了熱應(yīng)力情況下壓力敏感膜撓度的公式。采用控制變量法，分別討論了壓力敏感膜膜厚、半徑以及玻璃管壁厚對撓度的影響，利用麥夸特(Levenberg-Marquardt)算法對ANSYS仿真結(jié)果進行擬合修正，得到了適用于實際結(jié)構(gòu)周邊用玻璃管固支情況下壓力敏感膜的公

3、式。
　　研究了傳感器的加工工藝，并搭建了壓力測試系統(tǒng)進行性能測試。詳細討論了實驗數(shù)據(jù)的提取與處理方法，利用雙峰追蹤的峰值解調(diào)法對從ENLIGHT中提取的大量光譜數(shù)據(jù)進行腔長計算。對制作好的傳感器樣品進行線性度、靈敏度性能的測試，并給出了實驗結(jié)果。
　　設(shè)計并制作了一種基于雙金屬效應(yīng)的新型光纖法布里-珀羅MEMS溫度傳感器。研究了傳感器的力學(xué)模型，討論了傳感器的靈敏度，確定了雙金屬材料，并用有限元軟件ANSYS驗證了模型的合