1、針對(duì)?；穬?chǔ)運(yùn)監(jiān)測(cè)的問題及關(guān)鍵技術(shù)，本論文按照863科研項(xiàng)目《面向安全監(jiān)測(cè)與跟蹤的網(wǎng)絡(luò)化微系統(tǒng)》的課題要求，主要從事熱釋電紅外探測(cè)器敏感元的研究。伴隨微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，MEMS器件在尺寸(微米/納米量級(jí))、體積、質(zhì)量、功耗、響應(yīng)時(shí)間上都得到極大提升。本文利用MEMS工藝在硅基底上制備鋯鈦酸鉛薄膜，并通過(guò)一系列基礎(chǔ)性研究探求高性能鋯鈦酸鉛薄膜材料的制備技術(shù)。 論文利用溶膠凝膠法制備三種不同鋯鈦比的鋯鈦酸鉛材料，確定

2、先體溶液原料為乙酸鉛、四正丁氧基鋯及鈦酸四丁酯，采用四正丁氧基鋯有機(jī)試劑作為螯合劑，通過(guò)化學(xué)方法配制前驅(qū)體溶液并制備薄膜。采用甩膠機(jī)將溶膠均勻涂覆在硅基片上，通過(guò)燒結(jié)及退火處理得到PZT薄膜。通過(guò)薄膜能譜分析得到薄膜材料的確切比例，由形貌測(cè)試、XRD、Raman測(cè)試得出，溶膠濃度在0.2mol/L比較合理，且鋯鈦比例為15/85的干凝膠比其他兩種性能優(yōu)越。實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，通過(guò)一系列的燒結(jié)試驗(yàn)，得出合理的燒結(jié)溫度曲線等薄膜制備工藝參數(shù)對(duì)薄膜的