1、正弦相位調(diào)制干涉測量法是對參考光束進(jìn)行正弦相位調(diào)制，并對干涉信號進(jìn)行分析，求出被測物體物理量的方法。該方法具有結(jié)構(gòu)簡單、測量精度高、抗干擾能力強等優(yōu)點。在位移、振動、表面形貌、微角度測量等領(lǐng)域已成為一項重要的高精度測量技術(shù)。 在本論文中，首先介紹了光柵副中光的衍射及干涉現(xiàn)象和頻譜分析原理，并闡述了光柵調(diào)制測形原理。 其次，根據(jù)正弦相位調(diào)制光柵干涉法的原理對一個振動物體的二維表面形貌進(jìn)行測量，選擇合適的光學(xué)元件后，經(jīng)過光路

2、系統(tǒng)的搭建和調(diào)試，對帶有正弦振動的塑料板進(jìn)行實驗測試，通過高速工業(yè)相機(jī)采集到一個正弦振動周期內(nèi)不同時刻的干涉條紋。 最后，根據(jù)位相物體的光學(xué)顯示方法，用MATLAB軟件編寫程序，對在一個正弦振動周期內(nèi)三個不同時刻的干涉條紋圖像進(jìn)行處理分析和數(shù)值計算，分別是位移振動到正最大、位移振動到接近零和位移振動到負(fù)最大的三幅干涉圖，求出這三幅干涉圖的相位分布，進(jìn)而結(jié)合相位分布與振動物體面形的關(guān)系，得出了振動物體在這三個位置的二維表面形貌分布