移相干涉儀中主動抗振及電器集成控制技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、移相干涉術(shù)是一種高精度、高靈敏度的光學(xué)測試方法,極易受外界振動的影響,為解決光干涉測試中的振動問題,該文在比較了國內(nèi)外干涉抗振技術(shù)后,提出了采用光外差干涉測量振動,以PZT為振動補償元件的主動抗振方案;詳細(xì)討論了抗振方案的原理、電路系統(tǒng)的設(shè)計制作、DSP的程序編制;最后進行了抗振實驗.實驗表明在50Hz·λ以下的振動條件下,電路系統(tǒng)能在驅(qū)動PZT進行振動補償?shù)耐瑫r實現(xiàn)移相,計算結(jié)果和沒有振動時一致.數(shù)字波面干涉儀是集光、機、電、算于一體

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