1、半導(dǎo)體生產(chǎn)線作為半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的重要組成部分，其調(diào)度策略的好壞與生產(chǎn)線設(shè)備的利用率、產(chǎn)品的生產(chǎn)時(shí)間和生產(chǎn)線的效率等密切相關(guān)。對(duì)一組任務(wù)可能存在幾種調(diào)度方案，因此如何確定調(diào)度方案的優(yōu)劣就需要計(jì)算機(jī)仿真來實(shí)現(xiàn)。 半導(dǎo)體制造系統(tǒng)存在可重入現(xiàn)象，即工件在工藝流程的不同階段使用同一臺(tái)設(shè)備進(jìn)行加工，半導(dǎo)體生產(chǎn)線因此被稱為第三類系統(tǒng)。由于存在重入，加劇了工件對(duì)設(shè)備使用權(quán)的競(jìng)爭(zhēng)，致使工件等待加工的時(shí)間相應(yīng)增加，這給半導(dǎo)體生產(chǎn)線的調(diào)度帶來了極大的

2、困難，僅靠某個(gè)單一的調(diào)度策略,很難實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)線的良好控制。較有效的辦法是將各種控制與調(diào)度策略及模型有機(jī)地集成在一起,并用仿真建模的方法來驗(yàn)證調(diào)度方案的優(yōu)劣，從而對(duì)生產(chǎn)線進(jìn)行有效地控制。本文就是基于這一目的應(yīng)用仿真方法求解可重入半導(dǎo)體生產(chǎn)線的調(diào)度問題，主要完成了以下幾個(gè)方面的工作： 1.在與傳統(tǒng)的Flow-shop及Job-shop對(duì)比的基礎(chǔ)上，根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)的流程和半導(dǎo)體生產(chǎn)線的特點(diǎn)，分析總結(jié)出半導(dǎo)體生產(chǎn)線調(diào)度規(guī)則與Flow-

3、shop及Job-shop調(diào)度規(guī)則的不同。 2.討論了離散事件的仿真算法，為實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的仿真提供了基礎(chǔ)。 3.以C++為開發(fā)工具，利用面向?qū)ο蠹夹g(shù)和離散事件仿真方法，基于SEMATECH的標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體生產(chǎn)仿真系統(tǒng)。通過對(duì)幾種投料策略和派工規(guī)則進(jìn)行交叉仿真和仿真結(jié)果分析，歸納總結(jié)出它們各自的優(yōu)缺點(diǎn)和實(shí)用場(chǎng)合，并提出了改善意見。 4.在介紹遺傳算法的基礎(chǔ)上，針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)線可重入的特