1、本文綜合介紹了高性能光譜分析儀的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢。系統(tǒng)分析了國內(nèi)的需求，以及在光譜分析儀領域國內(nèi)外的差距。根據(jù)光譜分析儀設計的基本原理，設計出了三種實現(xiàn)方案：衍射光柵型、Fabry-Perot干涉儀型和Michelson干涉儀型。并對三種方案的優(yōu)缺點給予了分析和比較。 衍射光柵型光譜分析儀能夠進行各種激光器和LED的光譜測量，其光譜分辨帶寬是可以改變的，且具有測量波長范圍寬、靈敏度高、動態(tài)范圍大等優(yōu)點。因此，本設計采用雙

2、通光柵單色儀加直接驅(qū)動直接讀取光柵角位置控制的實現(xiàn)方案。利用這種雙通光柵單色儀可同時獲得單光柵單色儀的高靈敏度和雙光柵單色儀的大動態(tài)范圍；在光路中插入經(jīng)精心設計的楔形延遲板，它還可提供優(yōu)良的偏振非敏感特性；準直和聚焦系統(tǒng)選用高品質(zhì)拋物面反射鏡可降低單色儀的尺寸要求，以便于將整個儀器的體積降到最小限度，同時，由于反射系統(tǒng)無色差，所以該系統(tǒng)還有助于提高儀器的分辨率。高分辨率直接驅(qū)動直接讀取衍射光柵角位置的控制系統(tǒng)不僅可消除傳統(tǒng)齒輪減速機構(gòu)固