1、電容型傳感器是傳感器家族中一類重要的傳感器。它是利用充放電原理，將隨待測(cè)變量變化而變化的電容量轉(zhuǎn)化為便于測(cè)量和傳輸?shù)碾妷?、電流或頻率等參量的器件，在濕度、溫度、位移、壓力等測(cè)量方面得到了非常廣泛的應(yīng)用。然而，由于微小電容變化量很小，一般為pF量級(jí)，因此采用專用的集成接口電路對(duì)微小電容進(jìn)行檢測(cè)和處理成為重要的方法。 根據(jù)充放電檢測(cè)原理，設(shè)計(jì)了一種基于C/V（電容/電壓）轉(zhuǎn)換的CMOS集成電容型濕度傳感器接口電路，以達(dá)到對(duì)微電容的高

2、精度測(cè)量。接口電路主要由運(yùn)算放大器和開關(guān)電容電路構(gòu)成。電路設(shè)計(jì)的核心部分為運(yùn)算放大器的設(shè)計(jì)，根據(jù)接口電路對(duì)運(yùn)放的性能要求，采用兩級(jí)運(yùn)放的結(jié)構(gòu)，第一級(jí)采用折疊式共源共柵結(jié)構(gòu)，用以提供較高的增益；第二級(jí)采用共源級(jí)結(jié)構(gòu)，用以提供較高的輸出擺幅；并采用基準(zhǔn)電流源為運(yùn)放提供偏置電流。開關(guān)電容電路利用充放電原理完成對(duì)微電容的檢測(cè)，由于采用CMOS模擬開關(guān)，提高了電路的精度?；贑SMC0.6μmCMOS工藝，對(duì)接口電路各個(gè)晶體管的參數(shù)進(jìn)行了設(shè)定，并

3、利用HSpice仿真軟件對(duì)電路進(jìn)行了仿真及參數(shù)調(diào)整。仿真結(jié)果表明：運(yùn)放的開環(huán)增益為91.842dB，相位裕度為58°，3dB帶寬為1KHz，單位增益帶寬為14.042MHz，滿足接口電路的工作要求；整體接口電路的輸出電壓為與輸入電壓同頻率的對(duì)稱方波信號(hào)，其幅值隨傳感電容的變化而變化，當(dāng)電容在10pF～15pF變化時(shí)，輸出電壓從0.5V變化到2.3V，并且每當(dāng)傳感電容變化0.01pF時(shí)，輸出電壓將產(chǎn)生3.6mV的變化，實(shí)現(xiàn)了對(duì)微小電容的檢