1、目前微加速度計的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣，甚至涉及到一些特殊領(lǐng)域：石油勘探、導(dǎo)航、地震檢測等，這些領(lǐng)域?qū)铀俣扔嫷男阅芴岢隽烁叩囊蟆Ω呔任⒓铀俣扔嫷难芯砍蔀閲鴥?nèi)外關(guān)注的焦點。
　　本文在分析了閉環(huán)微加速度計基本工作原理和閉環(huán)動態(tài)特性的基礎(chǔ)上，對閉環(huán)微加速度計的噪聲、溫漂和穩(wěn)定性進行了分析和測試，并進行了優(yōu)化和改進，提高加速度計的整體性能。
　　閉環(huán)微加速度計的噪聲主要包括機械噪聲和電學(xué)噪聲，電學(xué)噪聲主要包括前置放大器噪聲、K

2、T/C噪聲、參考電壓噪聲和質(zhì)量塊隨機游走噪聲。為了降低系統(tǒng)噪聲，在電路中引入CDS技術(shù)，消除前級電路部分熱噪聲和1/f；采用基準電壓源取代開關(guān)電源來降低驅(qū)動電源的噪聲。通過測試：叉指式加速計的量程為±15g，噪聲特性為8μg/ Hz。
　　加速計的溫漂包括靈敏度溫漂和零點溫漂。通過ANSYS對微結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)和阻尼系數(shù)溫度特性進行分析，并通過Hspice對系統(tǒng)的靈敏度溫漂和零點溫漂進行仿真，系統(tǒng)的在-45℃~85℃內(nèi)的靈敏度溫漂小