1、掃描電子顯微鏡（SEM）是觀察和分析微觀物質(zhì)形貌和特性的重要工具，它廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、地質(zhì)、電子工業(yè)和生物科學(xué)。在目前使用的SEM 中，有大量SEM 由于生產(chǎn)年代較早，未配備圖像采集功能，無法與廣泛應(yīng)用的PC 機連接，且不能實現(xiàn)電子版圖像的存儲、后期處理，難于提供高質(zhì)量的圖像進行其他用途的分析、利用。 本文提出了一種基于FPGA（現(xiàn)場可編程門陣列）技術(shù)的圖像采集系統(tǒng)設(shè)計方案，用于升級老型號SEM 圖像采集功能。整個硬件設(shè)計充

2、分考慮了系統(tǒng)將來的可移植性、便攜性以及運行的可靠性。使用可編程芯片F(xiàn)PGA 對信號采樣進行邏輯控制，只需在線更改嵌入程序即可滿足各種圖像采集的要求，便于調(diào)試和升級應(yīng)用?？刂瓢逡訢SP（高性能數(shù)字信號處理器）為基礎(chǔ)，外部擴展RAM 和FLASH，通過USB2.0（通用串行總線）接口直接與PC 機通訊。 另外，本文編寫了配套的圖像采集系統(tǒng)應(yīng)用軟件。通過其友好的客戶界面可以完成采集參數(shù)設(shè)置、采集控制、圖像顯示、電子圖像保存、圖片處理及