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![飛秒激光微精細(xì)加工理論與實(shí)驗(yàn)研究.pdf_第1頁(yè)](https://static.zsdocx.com/FlexPaper/FileRoot/2019-3/16/17/94ac2b71-79e7-4982-9879-4f95124db952/94ac2b71-79e7-4982-9879-4f95124db9521.gif)
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1、該論文對(duì)飛秒激光應(yīng)用于微納加工領(lǐng)域進(jìn)行了部分理論與實(shí)驗(yàn)研究工作.論文的主要內(nèi)容包括:一、采用幾種不同模型實(shí)現(xiàn)飛秒激光與金屬、電介質(zhì)以及聚合材料作用過(guò)程的描述.對(duì)金屬材料,通過(guò)數(shù)值分析約化后的雙溫模型,對(duì)飛秒激光與金屬材料相互作用過(guò)程進(jìn)行研究,確定了電子與晶格的耦合時(shí)間,并與長(zhǎng)脈沖情形進(jìn)行比較,同時(shí)又考慮了脈沖串對(duì)材料作用結(jié)果的影響;對(duì)電介質(zhì)材料,通過(guò)飛秒激光在電介質(zhì)內(nèi)傳輸模型的表述,考慮飛秒激光的時(shí)空傳輸特性,對(duì)等離子體產(chǎn)生過(guò)程進(jìn)行分析
2、以及模型設(shè)計(jì),并與長(zhǎng)脈沖情形做了比較.二、從脈沖形狀出發(fā),分析高斯形飛秒激光與燒蝕孔徑橫向尺度的關(guān)系:若用p表示脈沖能量降為脈沖中心峰值能量E<,0>一半時(shí)的光束半徑,E<,t>表示材料出現(xiàn)燒蝕時(shí)的閾值能量.那么燒蝕孔半徑r與p的關(guān)系為可以表示為:r<'2>=p<'2>(1nE<,o>-1nE<,t>),實(shí)驗(yàn)中采用針孔掃描法探測(cè)了所用飛秒激光的光斑形狀.同時(shí)采用光束傳輸模型,實(shí)現(xiàn)了飛秒激光在透明材料內(nèi)部加工光學(xué)器件的模型設(shè)計(jì),使得飛秒激
3、光加工具有特定參數(shù)的微光學(xué)器件成為可能.三、對(duì)飛秒激光加工光學(xué)平臺(tái)以及光學(xué)顯微系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試,實(shí)現(xiàn)飛秒激光加工平臺(tái)的搭建,并對(duì)所用飛秒激光器各項(xiàng)參數(shù)對(duì)光束質(zhì)量的影響因素進(jìn)行了測(cè)試;為獲得足夠多的實(shí)驗(yàn)信息,采用幾種探測(cè)方法實(shí)現(xiàn)燒蝕監(jiān)測(cè)及焦點(diǎn)橫向定位,提出了適用于加工薄片形透明材料的相干探測(cè)方法,實(shí)現(xiàn)了焦點(diǎn)縱向定位.四、塑料光纖在降低損耗和提高帶寬方面取得的突破性進(jìn)展,使得其在寬帶短距離通信網(wǎng)絡(luò)中具有顯著競(jìng)爭(zhēng)力,相應(yīng)的帶動(dòng)了塑料光纖相關(guān)微光學(xué)
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