1、靶材技術(shù)成熟度等級劃分及定義靶材技術(shù)成熟度等級劃分及定義編制說明（討論稿）標(biāo)準(zhǔn)編制組二〇一七年十月《靶材技術(shù)成熟度等級劃分及定義》是國內(nèi)首個靶材技術(shù)成熟度國家標(biāo)準(zhǔn)，開展本項目的研究，建立靶材技術(shù)成熟度評價國家層面的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，可以協(xié)助企業(yè)對研發(fā)產(chǎn)品進(jìn)行技術(shù)成熟度評價，指導(dǎo)企業(yè)的靶材研發(fā)和生產(chǎn)。同時還可以依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)提出的技術(shù)成熟度量化分級標(biāo)準(zhǔn)，有利于指導(dǎo)社會投資，提高投資效率；依據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，可以使企業(yè)院所在自行開展或申請科研建設(shè)投資的時候，判斷

2、其技術(shù)所處的總體水平，進(jìn)一步明確投資方向；在此基礎(chǔ)上對全國靶材制造行業(yè)技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r進(jìn)行全面科學(xué)量化的評價，為國家相關(guān)部委提供決策與規(guī)劃參考，規(guī)范和引導(dǎo)我國靶材制造產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展和優(yōu)化布局。通過該項目的實施，建立靶材技術(shù)成熟度分級的明確標(biāo)準(zhǔn)，對進(jìn)一步推動靶材技術(shù)領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)化、系列化、通用化具有重要意義。1.2起草單位有研億金新材料有限公司，簡稱有研億金，2014年1月由“有研億金新材料股份有限公司”更名為“有研億金新材料有限公司”，隸屬于

3、北京有色金屬研究總院。有研億金屬于中關(guān)村科技園高新技術(shù)企業(yè)、“十百千工程”重點培育企業(yè)，擁有北京市企業(yè)技術(shù)中心2012年公司被評定為“國家級科技創(chuàng)新型示范企業(yè)”。公司是中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會支撐分會理事單位、中關(guān)村集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事單位、上海黃金交易所綜合類會員、中國有色金屬學(xué)會貴金屬學(xué)委會副主任單位和全國有色金屬標(biāo)委會貴金屬分標(biāo)委會副主任單位。經(jīng)過10多年的發(fā)展，有研億金已成為具備一定產(chǎn)業(yè)規(guī)模在微電子領(lǐng)域內(nèi)具有良好影響力的快速成長型企業(yè)

4、。有研億金擁有30多年專業(yè)從事稀有和貴金屬材料研究、開發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗，獲得并積累了一大批國家和部級科研成果，培養(yǎng)造就了大批科研、生產(chǎn)人才。有研億金是國內(nèi)率先開展磁控濺射用靶材的單位，在微電子領(lǐng)域用高純金屬靶材制備加工領(lǐng)域具有國內(nèi)領(lǐng)先的優(yōu)勢。多年來，有研億金利用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高性能金屬材料制備技術(shù)，開發(fā)了獨具特色的靶材產(chǎn)品，產(chǎn)品涉及各種材料Al、Cu、Ti、Ru及其合金，各種難熔金屬等，形成了具有年產(chǎn)值近億元的產(chǎn)業(yè)基地，如先進(jìn)鍍膜用半導(dǎo)

5、體材料、光學(xué)材料、稀土材料、集成電路相關(guān)材料、磁存儲相關(guān)材料等，具備一大批對高純金屬材料制備加工技術(shù)具有堅實理論基礎(chǔ)和豐富實踐經(jīng)驗的專家和技術(shù)人員。有研億金歷年承擔(dān)國家級、省部級科技開發(fā)項目近百項，其中“十一五”、“十二五”期間，公司承擔(dān)了國家02專項、國家國際重點合作項目、國家高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項目、國家科技支撐項目、863項目等36項國家重點項目，為我國新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到巨大支撐作用。公司共獲國家科技進(jìn)步獎特等獎子項獎1項、國家科技進(jìn)步