硅集成電路原理 范圍_第1頁
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文檔簡介

1、張帆揚帆☆逐月第一章(1)Si具有哪種晶格結(jié)構(gòu)常溫下帶隙值為多大金剛石結(jié)構(gòu)屬于面心立方常溫下帶隙值為1.1242eV(2)淺能級雜質(zhì)的定義,哪個主族的元素摻入Si中能形成n型淺能級雜質(zhì)?哪個主族的元素摻入Si中能形成p型淺能級雜質(zhì)?P16硅晶中的IIIIII族元素和族元素和VIVI族元素雜質(zhì),它們作為受主和施主時,其族元素雜質(zhì),它們作為受主和施主時,其電離能的大小并不一樣,但有一個共同的特點,就是電離能與禁帶電離能的大小并不一樣,但有一

2、個共同的特點,就是電離能與禁帶寬度相比都非常小。這些雜質(zhì)所形成能級在禁帶中很靠近價帶頂和寬度相比都非常小。這些雜質(zhì)所形成能級在禁帶中很靠近價帶頂和導帶底,我們稱這樣的雜質(zhì)能級為淺能級雜質(zhì)。導帶底,我們稱這樣的雜質(zhì)能級為淺能級雜質(zhì)。VIVI族元素族元素IIIIII族元素族元素(3)深能級雜質(zhì)的定義,說明深能級雜質(zhì)和缺陷的作用有哪些?一些摻雜半導體中的雜質(zhì)或缺陷在帶隙中引入的能級較深,被稱為一些摻雜半導體中的雜質(zhì)或缺陷在帶隙中引入的能級較深

3、,被稱為深能級雜質(zhì)。一般情況下深能級雜質(zhì)大多為多重能級深能級雜質(zhì)。一般情況下深能級雜質(zhì)大多為多重能級1)1)可以成為有效復合中心,大大降低載流子的壽命;可以成為有效復合中心,大大降低載流子的壽命;2)2)可以成為非輻射復合中心,影響半導體的發(fā)光效率;可以成為非輻射復合中心,影響半導體的發(fā)光效率;3)3)可以作為補償雜質(zhì),大大提高半導體材料的電阻率。可以作為補償雜質(zhì),大大提高半導體材料的電阻率。(4)能夠計算SiGe的體原子密度和線密度.

4、原子密度=晶胞中包含原子個數(shù)原子密度=晶胞中包含原子個數(shù)晶胞體積晶胞體積硅晶體中的原子密度為:硅晶體中的原子密度為:8a3=51022cm3鍺晶體中的原子密度為:鍺晶體中的原子密度為:Ge=4.421022cm3線密度:張帆揚帆☆逐月?網(wǎng)絡形成者的概念P24可以替代SiO2網(wǎng)絡中硅的雜質(zhì),也就是能代替SiO四面體中心的硅、并能與氧形成網(wǎng)絡的雜質(zhì),稱為網(wǎng)絡形成者。?能夠闡述熱氧化的基本過程氧化劑擴散穿過附面層到達氣體-氧化劑擴散穿過附面層

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