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1、理學(xué) 碩士學(xué)位 論文反應(yīng)磁控濺射金屬/TiN 多層膜及金屬摻雜 TiN 薄膜的制備與特性PREPARATION AND CHARACTERIZATION OFMETAL/TiN MULTILAYER AND METAL-DOPED TiNFILMS DEPOSITED BY REACTIVE MAGNETRONSPUTTERING王 靜光 學(xué)延 邊 大 學(xué)學(xué)校代碼:10184分 類 號:O4 O4 O4 O4分類號 O4 密級U D C
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