1、微/納米精密定位是精密操作的重要技術之一，被實際應用到航空航天、生物工程、微機電系統(tǒng)裝配等精度要求為微納米級別的眾多領域，是國際研究的前沿技術。完成精密定位的微納操作系統(tǒng)由末端執(zhí)行部分、控制系統(tǒng)、微位移檢測裝置組成。微操作平臺作為微操作系統(tǒng)的末端執(zhí)行部分其重要性不言而喻，平臺設計的好壞直接關系到微操作的精度。本文主要是對微動平臺的結構設計研究，并且簡單探討壓電陶瓷控制策略。
　　通過閱讀大量的文獻，深入了解微動平臺的發(fā)展趨勢。把設

2、計出一個精度高，行程大的微動平臺作為研究目標。雙柔性平臺是基于直角型柔性鉸鏈，以橋式放大器為放大機構與直線導向機構雙平行四桿相結合設計而成。二自由度的并聯(lián)微操作平臺，能提供沿X，Y軸移動的兩個方向的自由度，在水平面內可將操作物體從不同方向移到視野中心。本文利用微動平臺的1/4結構，應用柔度矩陣法和拉格朗日能量法對平臺的靜力學和動力學分別進行了分析，計算出雙柔性平臺的整體輸出柔度和固有頻率。同時，還使用橋式放大器的1/4數(shù)學模型的輸入柔度