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文檔簡介
1、MEMS(Micro-electro-mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))加速度傳感器是新一代地震檢波器的核心部件,它主要由 MEMS傳感器件、ASIC(Application Specified Integrated Circuits,專用集成電路)讀出電路等組成,可實現(xiàn)高靈敏度的地震波檢測。本文依托國家科技重大專項,圍繞“十二五”專項專題里的研究任務(wù),對MEMS加速度傳感器及其讀出電路ASIC的測試技術(shù)進(jìn)行了研究。 2、r> 本研究主要內(nèi)容包括：⑴MEMS加速度傳感器的重力場標(biāo)定:以二階非線性系數(shù)最小為標(biāo)準(zhǔn)對MEMS加速度傳感器進(jìn)行了重力場標(biāo)定,并測試了加速度傳感器的靜態(tài)偏差、靈敏度和靈敏度溫度系數(shù)。⑵MEMS加速度傳感器系統(tǒng)噪聲測試:分別測試了模擬閉環(huán)加速度傳感器和數(shù)字閉環(huán)加速度傳感器的系統(tǒng)噪聲,測試模擬閉環(huán)加速度傳感器系統(tǒng)噪聲時采用放大噪聲的方法提高了測試的準(zhǔn)確性。⑶MEMS加速度傳感器參考電壓噪聲測試及改進(jìn):分析了數(shù)字加速度傳感器的噪聲源,用計
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