1、MEMS傳感器是當(dāng)前的研究熱點，低通濾波器是其讀出電路信號處理過程中必不可少的重要部分。研究開發(fā)易于集成、性能優(yōu)良，并應(yīng)用于MEMS傳感器讀出電路的低通濾波器具有重要的實際意義。 本文研究設(shè)計了適于MEMS電容加速度傳感器讀出電路的低通濾波器。為適應(yīng)不同MEMS電容加速度傳感器的需要，低通濾波器設(shè)計成帶寬可調(diào)，范圍為100～10kHz。當(dāng)信號頻率低于500Hz時，采用帶寬可調(diào)的開關(guān)電容低通濾波器，高于500Hz時，采用帶寬可調(diào)的

2、連續(xù)時間低通濾波器。 本文利用開關(guān)電容模擬電阻替代有源低通濾波器中的電阻，設(shè)計了雙二階開關(guān)電容低通濾波器。設(shè)計中采用了對寄生電容不敏感的反相積分器和同相積分器，積分器中的運算放大器選擇具有較高直流開環(huán)增益和較大單位增益帶寬的CMOS兩級運放。文中對開關(guān)電容電路存在MOS開關(guān)的導(dǎo)通電阻、電荷注入和時鐘饋通等非理想因素做了詳細分析，用兩相不重疊、同相下降沿異步的優(yōu)化時鐘控制開關(guān)的時序，減小電荷注入和時鐘饋通的影響。對于連續(xù)時間濾波器