1、薄膜材料是一類重要的功能材料，在當(dāng)代高技術(shù)中有著極其重要的應(yīng)用。研究薄膜生長(zhǎng)的理論對(duì)于發(fā)展新性能的新型材料及提高傳統(tǒng)薄膜材料的質(zhì)量和性能有著一定的指導(dǎo)作用?；谟?jì)算機(jī)技術(shù)而發(fā)展的數(shù)學(xué)建模和模擬是薄膜生長(zhǎng)理論研究的一類重要方法。
　　本研究論文參考己有的生長(zhǎng)模型，結(jié)合薄膜生長(zhǎng)理論及實(shí)驗(yàn)結(jié)果，建立了一個(gè)帶有缺陷基底的三維Monte Carlo模型，研究了基底溫度、粒子能量、粒子入射率、粒子行走步數(shù)對(duì)Cu(100)面的薄膜生長(zhǎng)初期的影響

2、，得到許多有意義的結(jié)果。
　　首先，介紹了薄膜生長(zhǎng)模擬的方法和國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。闡述了亞單層膜和多層膜的生長(zhǎng)過程，介紹了成核的毛細(xì)作用，薄膜生長(zhǎng)模擬的三種方法，并對(duì)三種方法討論了其優(yōu)缺點(diǎn)。說明了基底實(shí)際上是不均勻的，有多缺陷，遷移、蒸發(fā)是以相應(yīng)概率形式?jīng)Q定的，為后面的模擬做了必要的理論準(zhǔn)備。
　　其次，建立了一個(gè)帶有缺陷基底的三維Monte Carlo模型。模型中采用了周期性邊界條件，考慮了粒子在表面的擴(kuò)散、層間的擴(kuò)