1、SnO2由于其化學(xué)穩(wěn)定和相對其它氧化物響應(yīng)溫度較低，是半導(dǎo)體氣體傳感器最通用的氣敏材料，它對還原性氣體和氧化性氣體都有敏感響應(yīng)，為了提高其熱穩(wěn)定性和對特定氣體的靈敏度，本文采用混合法和化學(xué)可控沉淀法研制具有熱穩(wěn)定和相穩(wěn)定性的SnO2基金屬氧化物氣敏材料。用XRD、TEM、BET和Zeta二次粒徑分布等分析手段表征了氣敏材料的物性和相結(jié)構(gòu)。 考察了材料組成、氣敏操作溫度、材料的焙燒溫度和待測氣體濃度等條件對材料氣敏性質(zhì)的影響。用混

2、合研磨法制備的InO1.5-TiO2-SnO2納米混合氣敏材料對CH4氣體有較高的氣敏性能，最佳組成為20％InO1.5-20％TiO2-60％SnO2；添加1％MgO和少量貴金屬作為摻雜和表面修飾，增加了靈敏度，特別是在低溫下的靈敏度，同時降低了最高靈敏度時的操作溫度；用可控濕化學(xué)共沉淀法研制了InO1.5-SnO2二元納米復(fù)合物，通過控制金屬鹽濃度、陽離子比、沉淀pH值和老化時間，制得化學(xué)均一的兩元復(fù)合物，引入適量的第三組分TiO2

3、制得三元納米復(fù)合氧化物，對CH4氣體具有較好的靈敏度和催化活性，也提高了對CO的選擇性，而且敏感應(yīng)答與催化活性具有相同趨勢。通過少量金屬元素?fù)诫s和氧化物添加對基質(zhì)進(jìn)行結(jié)構(gòu)調(diào)變和表面修飾，進(jìn)一步提高氣敏和催化活性；用可控濕化學(xué)共沉淀法研制了WO3-SnO2超細(xì)復(fù)合氧化物，復(fù)合物組成為10％WO3-90％SnO2的樣品對NO2氣體具有最佳敏感響應(yīng)和選擇性。用程序升溫吸-脫附(TPD)實驗和X-射線光電子能譜(XPS)分析研究了復(fù)合氧化物表面