1、本論文王刊7辱5’月解密一j分類號UDC密級學號0908020258碩士學位論文學科門類：：王堂學科名稱：扭越遮讓區(qū)理詮指導‘教師：：揚至良：副塾援申請日期：：2Q曼2生：Q蘭且摘要論文題目：泡生法藍寶石晶體生長溫度場分析及相關設備參數(shù)研究學科專業(yè)：機械設計及理論研究生：孫明導師：楊軍良副教授摘要簽名：簽名：藍寶石晶體是一種具有良好的物理、機械、熱學和光學性能的晶體材料。國防工業(yè)、紅外技術和LED照明的迅速發(fā)展，大尺寸、高質量和性能穩(wěn)定

2、的藍寶石晶體需求日益增加。目前，生長藍寶石晶體的方法很多，而泡生法是生長大直徑、高質量藍寶石的最佳方法之一。但泡生法是一項耗時、耗能的生長方法，因此利用ANSYS分析軟件模擬分析加熱過程，再進行實驗驗證，以便達到減少實驗次數(shù)、降低成本和提高生長質量等目的。論文主要研究對象是泡生法生長藍寶石晶體。主要是對加熱過程進行溫場模擬仿真分析，用ANSYS有限元分析軟件分析，通過參數(shù)化快速建模，快速達到模型的建立及修改，并進行模擬仿真，為后期分析比

3、較工作節(jié)省了大量的人力和時間。通過對藍寶石生長設備中溫場分析討論，建立了溫場的數(shù)學模型，并對爐體中溫場進行了理論分析。用ANSYS有限元軟件對泡生法生長藍寶石晶體的加熱過程進行了模擬仿真，并對溫場進行了詳細的分析；再針對不同的參數(shù)，對晶體爐做相應的改變，主要是改變保溫屏層數(shù)(即厚度)、坩堝至屏口距離、籽晶桿水溫、上屏層數(shù)和孔徑大小、加熱器位置等參數(shù)，建模并進行模擬仿真，與未改變參數(shù)前進行對比，分析各個參數(shù)的改變對于加熱溫場的影響。根據(jù)對