1、碩士學(xué)位論文弱磁場(chǎng)對(duì)柱面感性耦合等離子體參數(shù)徑向分布的影響TheEffectsofWeakMagneticFieldonRadialCharacteristicsProfileofCylindricalInductivelyCoupledPlasma學(xué)號(hào)：呈!!Q窒Q2魚(yú)完成日期：2Q!壘生魚(yú)旦大連理工大學(xué)DalianUniversityofTechnology大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要射頻感性耦合等離子體(InductivelyCo

2、upledPlasma，即射頻ICP)具有放電氣壓低、密度高、裝置簡(jiǎn)單以及空間均勻性易于控制等優(yōu)點(diǎn)，因此在工業(yè)上廣泛應(yīng)用于微電子芯片和大尺寸平面顯示器的刻蝕工藝、半導(dǎo)體與光電子功能薄膜沉積、寬束強(qiáng)流離子源、全方位離子注入、化學(xué)合成以及晶體生長(zhǎng)等領(lǐng)域。在射頻ICP研究中，如何提高等離子體空間均勻性一直是學(xué)者們關(guān)注的重要問(wèn)題。本文對(duì)弱磁場(chǎng)中射頻感性耦合等離子體的等離子體參數(shù)徑向分布進(jìn)行研究。實(shí)驗(yàn)中保持放電氣體(氬氣)、氣壓、等離子體吸收功率

3、、耦合天線(柱面線圈)等放電條件不變，在軸向外加不同強(qiáng)度、不同位形的弱磁場(chǎng)，使用自制Langmuir探針測(cè)量了耦合天線區(qū)域內(nèi)等離子體空間電位、電子溫度、電子密度等參數(shù)的徑向分布，說(shuō)明對(duì)于柱面感性耦合等離子體如何配置外加磁場(chǎng)有利于提高均勻性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在軸向磁場(chǎng)位形下，隨著磁感應(yīng)強(qiáng)度增加，等離子體密度徑向分布逐漸向“中心低邊緣高“的中空分布演化。而在會(huì)切磁場(chǎng)位形下，會(huì)切磁場(chǎng)對(duì)等離子體有向磁場(chǎng)中性區(qū)內(nèi)壓縮的作用，使得等離子體密度徑向分布