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![FeCuNbSiB復合結(jié)構(gòu)多層膜的巨磁阻抗效應及磁化特性的研究.pdf_第1頁](https://static.zsdocx.com/FlexPaper/FileRoot/2019-3/7/23/fa8ff246-20f9-4375-8da2-79e9ce8ce094/fa8ff246-20f9-4375-8da2-79e9ce8ce0941.gif)
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文檔簡介
1、基于薄膜材料易于集成化、微型化,在巨磁阻抗效應器件方面有著重大的應用前景,本文采用磁控濺射法制備了FeCuNbSiB/SiO<,2>/Cu/SiO<,2>/FeCuNbSiB/SiO<,2>型復合結(jié)構(gòu)多層膜,利用XRD譜、表面磁光克爾效應(SMOKE)和磁導率頻譜對由濺射功率和退火溫度引起的材料磁性能的變化,以及對巨磁阻抗效應的影響進行了研究。 1.當改變制備磁性層的濺射功率時,隨著濺射功率的增加,多層膜樣品的平面矯頑力逐漸減小
2、,軟磁性能提高,巨磁阻抗效應增大。當濺射功率為150W時,制備態(tài)樣品出現(xiàn)最大的阻抗效應,橫向阻抗效應為53%,縱向阻抗效應為44.3%;但濺射功率增加至200W后,由于濺射應力增大,樣品出現(xiàn)了一定的垂直各向異性,巨磁阻抗效應明顯減弱。 2.退火溫度對FeCuNbSiB多層膜的磁性能影響很大。當退火溫度為400℃時,樣品的極向克爾磁滯回線表現(xiàn)出較大矯頑力、高矩形比的垂直各向異性,導致樣品的軟磁性能減弱,巨磁阻抗效應顯著下降。540
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